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真空鍍膜機的組成和工作原理

評論: 0 瀏覽:1151 發表于:2021-09-10
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摘要:

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜設備,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發,電子槍加熱蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜設備,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發,電子槍加熱蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。

真空鍍膜機,鍍膜機是目前制作真空條件應用廣泛的設備。其相關組成及各部件:機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量系統。

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